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2019年2月6日

EUV / FUV校准室

我们的EUV / FUV允许紫外线成像仪器之间50-180纳米校准室校准。多个光源或线宽带要么提供在紫外线的排放。真空室内部的机械手系统允许水平和垂直运动和工具,以便确定用于实例的视图仪器领域或几何它们的性质的旋转。

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